awards
ISSM best paper
数理物质系/计算科学研究センター 上殿 明良、蓮沼 隆、重田 育照
教职员等
先進半導体リサーチユニットの構成者（上殿 明良 教授、蓮沼 隆 准教授、重田 育照 理事）による論文が Int. Sym. Semiconductor Manufacturing（ISSM）2024 のベストペーパーに採択されました。
滨厂厂惭は半导体生产技术におけるメジャーな国际会议であり、この会议で、当该リサーチユニットの研究成果がベストペーパーに採択されたことにより、本学における半导体研究のポテンシャルを国内外に示すことができました。
採択された论文：
A. Uedono, K. Kawakami, T. Kuribara, R. Hasunuma, Y. Harashima, Y. Shigeta, Z. Ni, Y. Ruolin, H. Nakamura, A. Notake, T. Moriya, K. Michishio, and S. Ishibashi, “Vacancy-type defects in thin HfO2 layers probed by monoenergetic positron beams”
